以下是常见的检验方法及步骤：

一、常用测量工具

- 平晶：用于高精度（如0级、1级）平台，利用光的干涉原理检测。
- 水平仪：包括合像水平仪、框式水平仪等，通过测量倾斜角度换算平面度。
- 百分表（或千分表）：配合表座（如磁力表座）和桥板，适用于中低精度平台。
- 激光干涉仪：高精度测量仪器，适用于大型或超高精度平台。

二、典型测量方法（以“百分表+桥板法”为例，适用于多数场景）

1. 准备工作
- 将平台平稳放置在坚实基础上，避免振动；待平台温度稳定（与环境温度一致）。
- 确定测量范围：按平台工作面尺寸划分网格（如50mm×50mm或100mm×100mm），标记测量点。
2. 安装仪器
- 将桥板（长度根据精度要求选择，如200mm）放置在平台上，百分表固定在桥板上，表头垂直触及工作面。
3. 逐点测量
- 移动桥板，使表头依次对准各网格点，记录百分表读数（以第 一点为基准，其他点相对该点的偏差）。
- 测量时需覆盖整个工作面，包括边缘区域。
4. 数据处理
- 采用“小区域法”或“对角线法”计算平面度误差：
- 小区域法：找到能包容所有测量点的小平行平面，两平面间距即为平面度误差（符合标准定义）。
- 对角线法：以平台两条对角线为基准，计算各点相对偏差，取大值与小值的差值作为误差（操作较简单）。

三、其他方法特点

- 平晶干涉法：将平晶贴合平台工作面，观察干涉条纹（如直条纹弯曲量对应平面度误差），精度高，但仅适用于小尺寸、高精度平台。
- 水平仪法：通过测量各方向倾斜度，换算成高度差后计算平面度，适合大型平台，但精度略低于百分表法。

测量结果需与平台精度等级对应的允许误差（如GB/T 22095标准）对比，判断是否合格。操作时需避免仪器自身误差（如桥板直线度、表的示值误差）影响结果。